태그 : 반도체 감초

반도체 공정 소재의 감초인 불소계 실리콘의 특허출원이 증가한 가운데, 일본에 뒤처진 핵심 특허 개발이 시급한 것으로 나타났습니다. 특허청은 최근 10년간 불소계 실리콘 관련 특